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缩小透镜
reducing glass
- 图中间的透镜起缩小掩模图案的作用，使得在晶圆上得到的电路图案长度上是掩模的四分之一。
A lens (middle) reduces the mask's image. So what gets printed on the wafer is typically four times smaller linearly than the mask's pattern. - 在近场光学纪录系统中，微孔与固态浸没透镜（SIL）为常被用来克服光学绕射极以及限缩小光点的两项技术。
For near-field recording systems, Aperture and Solid Immersion Lens(SIL) are two popular techniques to overcome light diffraction limit and reduce spot size.
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