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摆式加速度计
pendulous accelerometer
- 文摘:介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价值。
Abstract: The operation principle,construction design,preparation technologies and testing methods of the micro-silicon electrostatically force-balanced accelerometer with torsional pendulum are introduced.There is the certain reference value to develop a micro-silicon accelerometer.
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